事業案内 | 株式会社Genon RFソリューションズ

01 半導体製造装置に於ける高周波電源、
整合器、計測器等の販売

取扱品
高周波周波電源、マイクロ波電源、DC電源
マッチングユニット
RF切替器、外付Vpp、Vdc検出回路
各種同軸ケーブル

プロセス技術者待望の点火状態のチャンバー内の電流、電圧、インピーダンス、位相角、実パワーの測定が可能になりました。
広範な周波数範囲に対応しました非50Ωラインの常時監視システムの機能を有します。

資料をご用意しましたので、詳しくは下記をご参照下さい。

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MO-CVD装置を始め各種プロセス装置、
ガス系、真空系のご相談も賜ります。