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半導体製造装置の構成要素である材料系、真空系、電力系が半導体プロセスの重要要素となります。

その中でも、電力系、とりわけ高周波電源、マッチングユニットの果たす役割が、半導体の良否を左右するキーデバイスとなっております。

長年培って来ました半導体製造装置と高周波技術の経験を活かし、ユーザーとメーカーの橋渡しとなるよう会社を設立致しました。

ユーザーが抱える高周波技術の問題は、プラズマが点火しない、マッチングが取れない等様々な問題が存在します。

また、進行波、反射波、チャンバーインピーダンスを測定したい等、トラブル原因を明確にしたい要望も御座います。

そのような高周波関連の問題を解決しながら半導体製造装置の開発、安定稼働、トラブル低減に寄与し産業発展の一助となることを目的としております。

株式会社Genon RFソリューションズ
代表取締役　西島 篤志